Research on the ultra-thin film mechanical resonator for high resolution wavelength detection
用于高分辨率波长检测的超薄膜机械谐振器研究
基本信息
- 批准号:23760025
- 负责人:
- 金额:$ 2.33万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份:2011
- 资助国家:日本
- 起止时间:2011 至 2013
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
Aim of this study is development of a high resolution wavelength detector for a next generation large-capacity access network. Wavelength measurement had been researched using a nanomechanical resonator and plasmonic structure. In addition, Q factor improvement method had been researched in order to achieve the high resolution wavelength detection. As a result, strain applying method using clamp bending of a resonator was useful to obtain a high Q factor mechanical resonator. And, the wavelength detection with a resolution of 2.2 pm was demonstrated by a nanomechanical resonator with U-shaped cavities.
本研究的目的是开发用于下一代大容量接入网络的高分辨率波长检测器。使用纳米机械谐振器和等离子体结构研究了波长测量。此外,还研究了Q因数改进方法以实现高分辨率波长检测。结果,使用谐振器的夹具弯曲的应变施加方法对于获得高Q因数机械谐振器是有用的。并且,通过具有 U 形腔的纳米机械谐振器演示了分辨率为 2.2 pm 的波长检测。
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
東京大学大学院工学系研究科機械工学専攻 米谷研究室 研究成果リスト(論文・発表)
东京大学大学院工学研究科机械工学科米谷实验室的研究成果一览(论文和演讲)
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
High Quality Factor Graphene Resonator Fabrication Using Resist Shrinkage-Induced Strain
- DOI:10.1143/apex.5.117201
- 发表时间:2012-11-01
- 期刊:
- 影响因子:2.3
- 作者:Oshidari, Yuta;Hatakeyama, Taiki;Ishihara, Sunao
- 通讯作者:Ishihara, Sunao
FIB/EB 複合リソグラフィーによるHSQ からの3 次元ナノ構造作製
使用 FIB/EB 组合光刻技术从 HSQ 制造 3D 纳米结构
- DOI:
- 发表时间:2012
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:N.Sakai;T.Igaki;T.Onuma;A.A.Yamaguchi;T.Yamaguchi;and T.Honda;米谷 玲皇,黒田 耕平,割澤 伸一,石原 直
- 通讯作者:米谷 玲皇,黒田 耕平,割澤 伸一,石原 直
Carbon nano- mechanical resonator fabrication from PMMA by FIB/electron-beam dual-beam lithography
通过 FIB/电子束双束光刻从 PMMA 制造碳纳米机械谐振器
- DOI:10.1116/1.3662083
- 发表时间:2011
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:R. Kometani;T. Hatakeyama;K. Kuroda;S.Warisawa;and S. Ishihara
- 通讯作者:and S. Ishihara
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