Development of a single-shot soft-X-ray reflection type microscope

单次软X射线反射型显微镜的开发

• 批准号: 23651103
• 负责人: SUEMOTO Tohru
• 金额: $ 2.41万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23651103/
• 关键词: ナノ計測; 軟 X 線レーザー; 顕微技術; 時間分解; 軟Ｘ線レーザー

A grazing angle incident reflection type soft x-ray microscope, using a Fresnel zoneplate as an imaging element and a soft x-ray laser with a wavelength of 13.9 nm and a pulse width of 7 ps as a light source was developed. Groove structures made on a Pt film were clearly captured at a single shot exposure. The spatial resolution near the center of the field was 200 nm and 1000 nm in vertical and horizontal directions, respectively. The degradation of the resolution within 100 μm square was tolerable. This microscope was proven to have a performance sufficient for scientific use.

放牧的角度入射型软X射线显微镜，使用弗雷斯（Fresnele）作为成像元素和X-Raser，th th 13.9 nm，脉冲宽度为7 ps的脉冲宽度尽可能高达所开发在单个镜头方向上捕获的胶片上的敏感性是敏感的。

项目成果

Experimental verification of femtosecond laser ablation schemes by time-resolved soft x-ray reflective imaging

通过时间分辨软X射线反射成像对飞秒激光烧蚀方案进行实验验证

• DOI: 10.1364/oe.20.029329
• 发表时间: 2012
• 期刊: Optics Express
• 影响因子: 3.8
• 作者: Toru Yajima;Yingying Yu;Masayuki Futamata;Takuro Tomita
• 通讯作者: Takuro Tomita

軟Ｘ線レーザー干渉計と反射率計測で見るフェムト秒レーザーアブレーション

使用软 X 射线激光干涉仪和反射率测量观察到的飞秒激光烧蚀

• 发表时间: 2012
• 期刊: レーザー学会第436回研究会報告
• 作者: Toru Yajima;Yingying Yu;Masayuki Futamata;Takuro Tomita;M. Futamata;錦野将元
• 通讯作者: 錦野将元

軟X線干渉計測と反射率計測で観るフェムト秒レーザーアブレーション

通过软 X 射线干涉测量和反射率测量观察飞秒激光烧蚀

• 发表时间: 2012
• 作者: 二又政之;石川満;Tatsuya Okubo;富田卓朗
• 通讯作者: 富田卓朗

軟Ｘ線レーザー干渉計と反射率計測で見るフェムト秒レーザーアブレーション（口頭）

使用软 X 射线激光干涉仪进行飞秒激光烧蚀和反射率测量（口腔）

• 发表时间: 2012
• 作者: Ryohei Takeda;Motohiro Tagaya;Toshiyuki Ikoma;Tomohiko Yoshioka;Fujio Minami;and Junzo Tanaka;錦野将元
• 通讯作者: 錦野将元

Development of the single shot soft x-ray interferometer for observation of the nanometer-scaled surface dynamics (poster)

开发用于观察纳米级表面动力学的单次软X射线干涉仪（海报）

• 发表时间: 2012
• 作者: 錦野将元;伊與木健太,下嶋敦,大久保達也;Takuro Tomita;伊與木健太,下嶋敦,大久保達也;Noboru Hasegawa;伊與木健太・下嶋敦・大久保達也;Tohru Suemoto;Masaharu Nishikino;B.X.Dong,Y.Honmou,H.Komiyama,S.Furumaki,T.Iyoda and M.Vacha;Noboru Hasegawa;Noboru Hasegawa
• 通讯作者: Noboru Hasegawa