Depelopment of high sped formation technology of high precise capacitance element by laser assisted powder jet implantation method

激光辅助粉末喷射注入法高速形成高精度电容元件技术的研究进展

基本信息

批准号：
23560375
负责人：
SUZUKI Katsuhiko
金额：
$ 3.49万
依托单位：
Sendai National College of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2011
资助国家：
日本
起止时间：
2011 至 2013
项目状态：
已结题

项目摘要

I designed the manufactured device which could form implanted four capacitance elements at the same time in a thermoplastic resin substrate, and the software for the equipment was also completed, which means that speedup of manufacturing was realized.It was confirmed that the decision coefficient on number of the laminating dependence and electrode area dependence was highly precise such as about 0.999. On the other hand, it was found that the capacitance value changes exponentially on the number of times to commute of formation of electrode layer because of crush effect of particles by jetting. Finally it was confirmed that the implanted four capacitance elements could be formed at the same time by using either of the infrared laser and the green laser.

我设计了可以在热塑性树脂基板上同时形成植入四个电容元件的制造设备，并且该设备的软件也完成了，这意味着实现了制造的加速。层压依赖性和电极面积依赖性的精度非常高，例如大约0.999。另一方面，发现由于喷射对颗粒的粉碎作用，电容值随电极层形成的往返次数呈指数变化。最后证实，使用红外激光和绿光激光中的任何一种都可以同时形成植入的四个电容元件。

项目成果

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专利数量（0）

レーザーパルス周波数変化による抵抗の変化

由于激光脉冲频率变化而导致的电阻变化

DOI：
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
0
作者：
渡邊翔太;鈴木勝彦
通讯作者：
鈴木勝彦

Laminated Capacitor Formed in Thermoplastic Resin Substrate by Laser-Assisted Micropowder Jet Implantation

通过激光辅助微粉喷射注入在热塑性树脂基板上形成叠层电容器

DOI：
发表时间：
2013
期刊：
Jpn. J. Appl. Phys
影响因子：
0
作者：
K. Suzuki;S. Kameya;T. Sugai;T. Ohuchi;K. Miura and T. Kuriyagawa
通讯作者：
K. Miura and T. Kuriyagawa

コンデンサ製造装置及び積層コンデンサ製造方法

电容器制造装置及叠层电容器的制造方法

DOI：
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
0
作者：
通讯作者：

レーザーパルス周波数変化による抵抗値の変化

由于激光脉冲频率变化而导致的电阻值变化

DOI：
发表时间：
期刊：
影响因子：
0
作者：
渡辺翔太;鈴木勝彦
通讯作者：
鈴木勝彦

電子デバイス、センサーまたは配線の形成方法

形成电子器件、传感器或布线的方法

DOI：
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
0
作者：
通讯作者：

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发表时间：
2007
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KATO Yasuhiro;FUJINAGA Koichino;SUZUKI Katsuhiko;Yamamoto Junji;山本順司;Arakawa Masashi;Yamamoto Junji;山本順司;Yamamoto Junji;Hirano Naoto;山本順司
通讯作者：
山本順司