フェムト秒レーザー誘起転写法による金属酸化物パターンの組成制御及び超微細化

使用飞秒激光诱导转移方法对金属氧化物图案进行成分控制和超精细细化

基本信息

批准号：
14750086
负责人：
佐野智一
金额：
$ 2.3万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2002
资助国家：
日本
起止时间：
2002 至 2003
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-14750086/
关键词：
レーザー薄膜転写金属酸化物超微細構造 LIFT

项目摘要

超短パルスレーザーを用いてLIFTプロセスを行い,レーザーパラメーターが堆積物に与える影響を調査した.また、レーザーの強度分布がLIFTプロセスに与える影響についても調査した.更に,除去領域の観察,インテンシファイドCCDを使ったプルームの撮影により,リアアブレーションとフロントアプレーションについて比較を行った.本研究で得られた結果は,以下の様に要約される.・薄膜とアクセプター基板を密着させてLIFTプロセスを行うことでプルームを界面に捕らえ,堆積物の周囲に付着する微粒子の付着を防ぐことが可能となった.・レーザースポットのサイズが小さくなる程,除去時に剥ぎ取られる薄膜の領域が減少するために,液滴の広がりが抑えられた.・薄膜とアクセプター基板とを密着させてLIFTプロセスを行った場合,堆積物の直径はフルエンスが高くなるに従い増加する.一方,基板間距離を開けてLIFTプロセスを行った場合,堆積物の直径はフルエンスに依存しない.また,レーザースポットの中央部のみを照射することでレーザー照射域内部の圧力分布が一定に近づき,液滴の広がりが抑えられる.・リアアブレーションにおいてはプルームによる圧力が薄膜の除去に寄与し,除去領域がフロントアブレーションを行った場合よりも大きくなることが明らかになった.・プルームの撮影を行うことで,レーザー照射直後に移送速度が60-160km/sの粒子が移送されていることが明らかになった.・LIFTプロセスにおいて,レーザー照射に伴い薄膜が剥ぎ取りによって除去される.超短パルスレーザーを用いたLIFTプロセスにおいては,移送される薄膜は堆積物になる領域と,液滴となる領域は,レーザー照射域の圧力勾配によって決定される.初期の薄膜内部へのエネルギー伝達が電子によってなされ,更にプルームによる圧力が高くなるために,プルームの閉じこめによる薄膜の剥ぎ取りによる除去がより顕著になる.

使用超短脉冲激光进行LIFT工艺，研究了激光参数对沉积物的影响。还研究了激光强度分布对LIFT工艺的影响。此外，观察了去除区域，以及强度We通过使用 Fido CCD 拍摄羽流来比较背面烧蚀和正面烧蚀。本研究中获得的结果可概括如下。・通过使薄膜和受体基板彼此紧密接触来进行 LIF。通过进行T工艺，可以将羽流捕获在界面处并防止沉积物周围的细颗粒粘附 - 激光光斑尺寸越小，去除过程中去除的薄膜面积就越大。减少液滴的- 当在薄膜和受主基板紧密接触的情况下进行 LIFT 工艺时，沉积物的直径会随着注量的增加而增大。另一方面，当在基板之间的距离进行 LIFT 工艺时。，沉积物直径扩大。此外，通过仅照射激光光斑的中心，激光照射区域内的压力分布接近恒定水平，抑制了液滴的扩散 - 在后烧蚀中，由羽流引起的压力。结果表明，与进行正面烧蚀时相比，去除面积更大 - 通过拍摄羽流，在激光照射后立即传输了传输速度为 60-160 km/s 的颗粒。很明显- 在LIFT过程中，通过激光照射剥离薄膜。在使用超短脉冲激光的LIFT过程中，被输送的薄膜将沉积区域和液滴区域分开。更明显。