Lokale Messung innerer Dehnungen mit konvergenter Elektronenbeugung in Al- und Cu-Leiterbahnen von Oberflächenwellenfiltern

利用会聚电子衍射对表面波滤波器的铝和铜导体轨道中的内应变进行局部测量

• 批准号: 5388874
• 负责人: Dr. Thomas Gemming
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Materialchemie
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2003
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2002-12-31 至 2006-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5388874?language=en
• 关键词: Lokale; Messung; innerer; Dehnungen; mit

In den zukünftigen Mobiltelefonen werden hohe Anforderungen an die Belastungsbeständigkeit von Oberflächenwellenfiltern gestellt. Erhöhte Arbeitstemperaturen und große Amplituden der Oberflächenwellen verursachen einen belastungsinduzierten Materialtransport (Akustomigration) in den Metallisierungsebenen, der zu einem Bauteilversagen führt. Es gibt Hinweise, daß aufbauende mechanische Spannungen für das Versagen veranwortlich sind. Als Leiterbahnstrukturen werden bisher Al-Strukturen verwendet, und Cu basierte Strukturen befinden sich in der Entwicklung. In diesem Projekt sollen die mechanischen Dehnungszustände und daraus abgeleitet lokalisierte Spannungen einzelner Körner der Cu- und Al-Metallisierungen vor und nach akustischer Belastung gemessen werden. Die Korngrößen in den Leiterbahnen betragen etwa 50 bis 100nm, so daß die Dehnungsmessungen mit einer entsprechenden Ortsauflösung durchzuführen sind. Hierfür soll die lokale Dehnungsmessung im Transmissionselektronenmikroskop mit Beugung im konvergenten Bündel (CBED) weiterentwickelt und angewandt werden. Besonders sollen das Verfahren und dessen Messgrenzen für das in Zukunf gegenüber Al häufiger verwendete Leiterbahnmaterial Cu getestet und angewandt werden. Ziel ist ein Verständnis der grundlegenden Mechnismen der Akustomigration.

该公司致力于创建一种新的经济服务，这将导致创建新环境。材料转运（Akustomy）在Den Metallisierungsebenen，der Zu Einembauteilversagenführer。 Veranwortlich Sind。 Als Leiterbahnstrukturen Werden Bisher Al-Strukturen Verwendet，und Cu Basierte Strukturen Befinden Sich in der Entwicklung。在Diesem projekt sollen die die diedehnungszustände和daraus abgeleitet lokalisierte spannungen einzelner einzelnerkörnerder der al-metalliserungen vor und nach akustischer belastung belastung belastung emessen werden。 Den Leiterbahnen betragen etwa 50 bis 100nm的DieKorngrößen，以便我们可以满足世界人民的需求。我们还可以在通过Bündel（CBED）和Weiterantwickelt和Werden的传播的人们的帮助下为您提供帮助。我们还可以在Besons和Besons的帮助下为您提供帮助，以便您可以在ZukunfGegenüberAlHäufigerVerwendete，Leiterbahnmaterial Cu Getestet享受Messgrenzen Das，这是世界上最新，最重要的部分。