Development Study on Ultra Precision Lapping Technique of Large Sized Workpiece by Oscillation Controlled Method
振动控制法大型工件超精密研磨技术的开发研究
基本信息
- 批准号：20760090
- 负责人：
- 金额：$ 2.25万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份：2008
- 资助国家：日本
- 起止时间：2008 至 2010
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
This study aims to develop and propose an oscillation controlled lapping method, which uses a small diameter lap tool and is classed in the single wafer lapping system, as an effective method to achieve high precision controlled lapping of large sized workpiece. As the results, it is clear that the relations among the slurry flow, pressure distribution with tool overhanging and lapping characteristics of the proposed method based on a series of experiments and theoretical results using finite element analysis. Moreover, it is founded that the slurry flow mechanism is changed greatly with an offset between the tool and the workpiece. Furthermore, the controlled lapping within under 1um is achieved by the proposed method
本研究旨在开发并提出一种使用小直径研磨工具并属于单晶片研磨系统的振荡控制研磨方法，作为实现大尺寸工件高精度控制研磨的有效方法。结果表明，基于一系列实验和有限元分析的理论结果，泥浆流量、压力分布与工具悬伸和研磨特性之间的关系很清楚。此外，还发现，随着工具和工件之间的偏移，浆料流动机制发生很大变化。此外，通过所提出的方法实现了1um以下的受控研磨
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
デジタル画像相関法を用いたスラリーフローの定量評価研究-揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローと研磨特性の相関関係-
利用数字图像相关法定量评价浆料流动性的研究-摇摆控制研磨法中浆料流动性与抛光特性的相关性-
- DOI：
- 发表时间：2010
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：畝田道雄;村田慎太郎;石川憲一
- 通讯作者：石川憲一
デジタル画像相関法を用いた揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローの定量評価研究
数字图像相关法对摇摆控制包裹法泥浆流动的定量评价研究
- DOI：
- 发表时间：2010
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：村田慎太郎;後閑一洋;畝田道雄;石川憲一
- 通讯作者：石川憲一
小径工具を用いた揺動制御ラッピングに関する研究-オーバーラップを考慮したウェーハ全面研磨の基礎検討-
小直径刀具摆动控制研磨研究-考虑重叠的晶片表面抛光基础研究-
- DOI：
- 发表时间：2008
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：畝田道雄;成瀬尚;石川憲一;諏訪部仁
- 通讯作者：諏訪部仁
小径工具による揺動制御ラッピングに関する研究-オーバーハングを考慮した研磨特性とスラリーフローに基づく考察-
小直径刀具摆动控制研磨研究-基于考虑悬伸和浆料流动的抛光特性讨论-
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：成瀬尚;畝田道雄;石川憲一
- 通讯作者：石川憲一
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ patent.updateTime }}
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{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
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