Development and application of optically-driven micro rotator that rotates inside transparent solid substrate

透明固体基片内旋转的光驱动微型旋转器的研制与应用

• 批准号: 20360115
• 负责人: MATSUO Shigeki
• 金额: $ 11.81万
• 依托单位: The University of Tokushima
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20360115/
• 关键词: マイクロ・ナノデバイス; 光ピンセット; マイクロマシン; フェムト秒レーザー加工; エッチング; サファイア

We fabricated an optical rotator that is confined in a microcavity inside a glass substrate, and rotated it by an non-contact technique of optical tweezers. The fabrication technique used consists of two steps :{ micro modification by focused femtosecond laser pulses} and{ selective etching of the modified region}. This is a unique technique that enables us to carry out a removal processing inside transparent solid substrate with a micro-meter resolution. In the present, study we developed such fabrication and rotation techniques.

我们制造了一个被限制在玻璃基板内的微腔中的旋光器，并通过光镊的非接触技术旋转它。所使用的制造技术由两个步骤组成：{通过聚焦飞秒激光脉冲进行微修改}和{对修改区域进行选择性蚀刻}。这是一项独特的技术，使我们能够以微米分辨率在透明固体基板内部进行去除处理。目前，我们研究开发了此类制造和旋转技术。

项目成果

フェムト秒レーザを用いた透明固体材料の内部微細加工技術の開発

飞秒激光透明固体材料内部微加工技术开发

• 发表时间: 2009
• 作者: S.Hirata;M.Vach;T.Watanabe;松尾繁樹
• 通讯作者: 松尾繁樹

フッ化物結晶のフェムト秒レーザー支援エッチング

氟化物晶体的飞秒激光辅助蚀刻

• 发表时间: 2011
• 作者: 松尾繁樹;他
• 通讯作者: 他

Three-Dimensional Residue-Free Volume Removal inside Sapphire by High-Temperature Etching after Irradiation of Femtosecond Laser Pulses

飞秒激光脉冲照射后高温蚀刻去除蓝宝石内部三维无残留体积

• 发表时间: 2008
• 期刊: Laser Chemistry Vol.2008, No.5
• 作者: S. Matsuo;K. Tokumi;T. Tomita;and S. Hashimoto
• 通讯作者: and S. Hashimoto

Micro Three-dimensional Removal Processing inside Sapphire Substrate

蓝宝石衬底内部微三维去除加工

• DOI: 10.2961/jlmn.2010.02.0015
• 发表时间: 2010
• 期刊: Journal of Laser Micro/ Nanoengineering
• 作者: K. Tokumi;S. Matsuo;S. Kiyama;T. Tomita and S. Hashimoto
• 通讯作者: T. Tomita and S. Hashimoto

Hashimoto, Three- Dimensional Residue-Free Volume Removal inside Sapphire by High-Temperature Etching after Irradiation of Femtosecond Laser Pulses

Hashimoto，飞秒激光脉冲照射后通过高温蚀刻去除蓝宝石内部的三维无残留体积

• 发表时间: 2008
• 期刊: Laser Chemistry Vol.2008
• 作者: S. Matsuo;K. Tokumi;T. Tomita;S.
• 通讯作者: S.