Development of a new type common path interferometer for soft X-ray using a grazing angle beam splitter of a free standing membrane

采用自立式薄膜掠角分束器开发新型软X射线共光路干涉仪

• 批准号: 19860006
• 负责人: HARADA Tetsuo
• 金额: $ 1.93万
• 依托单位: University of Hyogo (2008)Tohoku University (2007)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (Start-up)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19860006/
• 关键词: 応用光学; 干渉計測; 超薄膜; X線; 超精密計測

低コヒーレンスな軟X線光源に適用可能な新型コモンパス干渉計を提案した.大きな特徴は斜入射ビームスプリッターを縦配置し,等倍共心光学系と組み合わせているため干渉縞生成が非常に容易になることである.シミュレーションより0.1mmと大きな光源でも縞生成が可能で,実験室光源への適用を示した.光学素子の移動精度も10nm程度で縞生成可能である.また,可視光干渉計において干渉縞を生成し収差測定した.

我们提出了一种适用于低相干软X射线光源的新型共通干涉仪，其主要特点是斜入射分光镜垂直布置，并与等倍同心光学系统相结合，使得非常容易产生干涉条纹。这就是发生的情况。模拟表明，即使使用大至0.1毫米的光源也可以产生条纹，并且已经论证了在实验室光源中的应用。可以以约10纳米的光学元件移动精度产生条纹。此外，干涉可以使用可见光干涉仪来测量像差。

项目成果

新型軟X線用コモンパス干渉計の開発

新型软X射线共光路干涉仪的研制

• 发表时间: 2009
• 作者: Satoshi Saga;et.al.;中村俊博(他3名);Toshihiro NAKAMURA;中村俊博(他4名);Toshihiro NAKAMURA;中村俊博(他4名);Toshilro NAKAURA;中村俊博(他4名);原田哲男
• 通讯作者: 原田哲男