Development of a new type common path interferometer for soft X-ray using a grazing angle beam splitter of a free standing membrane
采用自立式薄膜掠角分束器开发新型软X射线共光路干涉仪
基本信息
- 批准号:19860006
- 负责人:
- 金额:$ 1.93万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Young Scientists (Start-up)
- 财政年份:2007
- 资助国家:日本
- 起止时间:2007 至 2008
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
低コヒーレンスな軟X線光源に適用可能な新型コモンパス干渉計を提案した.大きな特徴は斜入射ビームスプリッターを縦配置し,等倍共心光学系と組み合わせているため干渉縞生成が非常に容易になることである.シミュレーションより0.1mmと大きな光源でも縞生成が可能で,実験室光源への適用を示した.光学素子の移動精度も10nm程度で縞生成可能である.また,可視光干渉計において干渉縞を生成し収差測定した.
我们提出了一种新的通用通用干涉仪,该干涉仪可以应用于低碳软X射线光源。主要特征是倾斜的事件束分离器垂直排列,并与同等磁化的cocentric光学系统结合在一起,从而使干扰条纹非常容易。即使具有比模拟大0.1 mm的光源,也可以生成条纹,并将其应用于实验室光源。光学元件也可以以大约10 nm的运动精度生成。另外,在可见的光干涉仪中生成干扰条纹,并测量像差。
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
新型軟X線用コモンパス干渉計の開発
新型软X射线共光路干涉仪的研制
- DOI:
- 发表时间:2009
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Satoshi Saga;et.al.;中村俊博(他3名);Toshihiro NAKAMURA;中村俊博(他4名);Toshihiro NAKAMURA;中村俊博(他4名);Toshilro NAKAURA;中村俊博(他4名);原田哲男
- 通讯作者:原田哲男
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