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Micro 3D processing by laser ablation with a Bessel beam
通过贝塞尔光束激光烧蚀进行微 3D 加工
基本信息
- 批准号：19360100
- 负责人：
- 金额：$ 12.48万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2007
- 资助国家：日本
- 起止时间：2007 至 2008
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
本研究の目的はレーザー微細加工に「深い焦点深度」を有するベッセルビームを適用することにより, 簡便なレーザー微細加工手法を開発することである. ベッセルビームによるレーザー加工では表面ダメージが生じ易いことが欠点として知られているが, 加工雰囲気を真空にするなど試料表面の酸化を防ぐことにより加工ダメージを大幅に低減できることが分かった. またベッセルビームを発生させる際に用いるアクシコンレンズに要求される加工精度は照射するレーザー光の波長が短いほど, アクシコンレンズ頂角が小さいほど高くなることを数値解析により見出した.
这项研究的目的是通过将具有“深度深度”的贝塞尔束应用于激光微分化来开发一种简单的激光微加工技术。众所周知，使用贝塞尔束进行激光处理的缺点是，可能会发生表面损伤，但已经发现，通过防止样品表面的氧化（例如，通过吸尘气氛），可以大大减少加工损伤。此外，我们通过数值分析发现，由于激光束的波长被照射，并且阳离子镜的轴向角度较小，因此在产生贝塞尔束时使用的axicon镜头所需的加工精度更高。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
パルスベッセルレーザービームを用いたマイクロドリル加工
使用脉冲贝塞尔激光束进行微钻孔
- DOI：
- 发表时间：2008
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Y. TAKATA;et al.;乙藤拓人ら;乙藤拓人ら
- 通讯作者：乙藤拓人ら
Laser Micro/Nano-Machining with a Bessel Beam
使用贝塞尔光束进行激光微/纳米加工
- DOI：
- 发表时间：2008
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Y. TAKATA;et al.;乙藤拓人ら;乙藤拓人ら;川内進司ら;Masamichi KOHNO et.al.
- 通讯作者：Masamichi KOHNO et.al.
Study on work damage reduction in micro-drilling using a nano-second pulsed Bessel laser beam
纳秒脉冲贝塞尔激光束微钻孔加工损伤降低研究
- DOI：
- 发表时间：2007
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Masamichi KOHNO;et al.;乙藤 拓人;Shinji Kawauchi et.al.
- 通讯作者：Shinji Kawauchi et.al.
ベッセルビームを用いたマイクロドリル加工における材質による加工ダメージの相違
使用贝塞尔光束进行微钻孔时，加工损伤因材料而异
- DOI：
- 发表时间：2007
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Masamichi KOHNO;et al.;乙藤 拓人;Shinji Kawauchi et.al.;川内進司ら;川内進司ら
- 通讯作者：川内進司ら
ベッセルビームを用いたレーザーマイクロ加工
使用贝塞尔光束的激光微加工
- DOI：
- 发表时间：2006
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：北川石英;小菅桂太;内田健司;萩原良道;河野正道ら;M.Kohno et al.;S.Kawauchi et al.;河野正道ら
- 通讯作者：河野正道ら
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