Development of Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer Assisted by Fiber Optic Window : Highly-Reproducible Absolute Surface Figure Measurement of Large Aperture Aspherical Mirrors

光纤窗口辅助移相点衍射干涉仪的研制：大口径非球面镜的高再现性绝对面形测量

基本信息

批准号：
19360066
负责人：
KATAOKA Toshihiko
金额：
$ 13.06万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
起止时间：
2007 至 2008
项目状态：
已结题

项目摘要

光ファイバが発する回折球面波を計測基準とする位相シフト点光源回折干渉計を開発し, 計測精度の向上に関する研究の結果,直径200mm, 曲率半径1500mmの凹面ミラーの形状計測の連続実施における再現性としてrms0.11nmを達成した。同ミラーの約90度の回転前後の計測結果もrms0.85nmで一致した。回転放物面ミラーの焦点から回折球面波を出射させて, ミラー形状の不完全性によって生じた非平面度を計測し, 非球面ミラーの絶対形状計測が本装置によって可能であることを実証した。

我们开发了一种相移点源衍射干涉仪，它使用光纤发射的衍射球面波作为测量标准，并且作为提高测量精度的研究结果，我们发现连续测量物体形状的再现性改进了直径为200毫米、曲率半径为1500毫米的凹面镜，其均方根值达到了0.11纳米。将同一反射镜旋转约90度之前和之后的测量结果也与0.85 nm的rms一致。我们从旋转抛物面镜的焦点发出衍射球面波，并测量了镜子形状缺陷引起的不平坦度，证明使用该装置可以对非球面镜进行绝对形状测量。

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

ファイバ型PS/PDI装置のためのHelmholtz-Kirchhoff積分を用いたデジタルホログラフィ解析シミュレーション

光纤型 PS/PDI 器件使用 Helmholtz-Kirchhoff 积分的数字全息分析模拟

DOI：
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
0
作者：
Keisuke Morishima;Yoshitake Akiyama,Hiroshi Horiguchi;Tomoji Ishisaka;andHiroshi Sato;松浦敏晋
通讯作者：
松浦敏晋

Numerical reconstruction of wavefront in phase-shifting point diffraction interferometer by digital holography

DOI：
10.1002/sia.2815
发表时间：
2008-06-01
期刊：
SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS
影响因子：
1.7
作者：
Matsuura, Toshiaki;Okagaki, Satoru;Kataoka, Toshihiko
通讯作者：
Kataoka, Toshihiko

大口径光学素子の絶対形状計測を目的としたファイバ型PS/PDIの開発-干渉結果の撮影におけるCCD撮像素子の保護ガラスの影響-

开发用于大直径光学元件绝对形状测量的光纤型PS/PDI - CCD图像传感器的保护玻璃对捕获干涉结果的影响 -

DOI：
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
0
作者：
T. Hoshino;K. Morishima;松浦敏晋
通讯作者：
松浦敏晋

ファイバ型PS/PDIによる大口径ミラーの計測精度

使用光纤型 PS/PDI 的大直径反射镜的测量精度

DOI：
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
0
作者：
Keisuke Morishima;Yuji Furukawa 他4名;松浦敏晋
通讯作者：
松浦敏晋

Absolute Surface Figure Measurement by Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Optical Fibers

两光纤移相点衍射干涉仪的绝对面形测量

DOI：
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
0
作者：
Takayuki Hoshino;Keisuke Morishima;Toshiaki MATSUURA
通讯作者：
Toshiaki MATSUURA

DOI：
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KATAOKA Toshihiko其他文献

Optimal Timing of Housing Tenure Transition : A Real Option Approach

住房权属过渡的最佳时机：实物期权方法

DOI：
发表时间：
2004
期刊：
Conference program and Abstracts of Research Papers July
影响因子：
0
作者：
ONO Takatoshi;TANAKA Kazuo A.;OZAKI Norimasa;SHIOTA Takeshi;NAGAI Keiji;SHIGEMORI Keisuke;NAKANO Motohiro;KATAOKA Toshihiko;Motohiro Adachi
通讯作者：
Motohiro Adachi