垂直磁気記録媒体の磁気特性・微細構造と高密度記録特性の関連性についての研究

垂直磁记录介质磁性能/微结构与高密度记录性能关系研究

基本信息

批准号：
05750314
负责人：
山本節夫
金额：
$ 0.58万
依托单位：
Yamaguchi University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1993
资助国家：
日本
起止时间：
1993 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は、Co-Cr垂直磁気記録媒体について、記録媒体の作製法、磁気特性やミクロな構造、記録再生特性、の相互の関係を明らかにし、高密度記録を実現することを目的とした。具体的には、バイアス・スパッタ法の採用による、Co-Cr記録媒体の磁気特性および記録再生特性向上、(2)スパッタArガス圧がCo-Cr記録媒体の磁気特性に及ぼす影響、について検討し、以下の知見を得た。(1)基板に-100V程度の負のバイアス電圧を印加しながらCo-Cr記録媒体をスパッタ成膜すると、垂直方向抗磁力の増加がもたらされるとともに、不純物ガスが多い雰囲気においては,不純物ガスが結晶配向性および磁気特性に及ぼす悪影響を緩和する効果があることが見い出した。このようなバイアス・スパッタ法で作製したCo-Cr垂直磁気記録単層膜媒体では、無バイアスで作製したものよりも高密度領域で高い再生電圧が得られることを記録再生特性の測定によって確認し、Co-Cr記録媒体の磁気特性および高密度記録性能の向上にバイアス・スパッタ法が有効であることを明らかにした。(2)磁気記録媒体を構成している磁性微粒子の磁気特性(特に抗磁力)が揃っているほど、鋭い磁化転移が実現できて高密度記録が可能になる。スパッタ法によるCo-Cr記録媒体の作製では、膜の機械的強度および垂直配向性の点からできるだけ低いArガス圧が望ましいとされてきたが、Arガス圧を20mTorrあるいはそれ以上にあえて高くした場合に、抗磁力分散の小さいCo-Cr記録媒体が作成できることが本研究で明らかになった。この研究結果は、孤立した微粒子構造をもち、微粒子の磁気的性質が揃った磁気記録媒体の作成法として、通常のスパッタ成膜法のような原子からの成膜法よりも、ガス中蒸着法に代表されるような微粒子からの成膜法の方がより有望であることを示しており、超高密度記録に適した記録媒体の新たな作製法の可能性が示唆された。

本研究的目的是阐明Co-Cr垂直磁记录介质的制造方法、磁性能、微观结构以及记录和再现特性之间的关系，并实现高密度记录。具体来说，我们研究了采用偏压溅射方法对Co-Cr记录介质磁性能和记录/再现特性的改善，以及(2)溅射Ar气压对Co-Cr记录介质磁性能的影响。，我们得到了以下发现。 (1)当在向基板施加约-100V的负偏压的同时溅射沉积Co-Cr记录介质时，垂直矫顽力增大，并且在具有大量杂质气体的气氛中，杂质气体发现这具有减轻对晶体取向和磁性能的负面影响的效果。我们通过测量记录和再现特性证实，使用这种偏压溅射方法制造的Co-Cr垂直磁记录单层膜介质可以在高密度区域中获得比不使用偏压制造的介质更高的读取电压。偏压溅射可有效提高Co-Cr记录介质的磁性能和高密度记录性能。 (2)构成磁记录介质的磁性粒子的磁特性(特别是矫顽力)越均匀，则能够实现越急剧的磁化转变，从而能够实现更高密度的记录。在通过溅射制造Co-Cr记录介质时，据说从膜的机械强度和垂直取向的角度来看，希望将Ar气压保持得尽可能低，但是如果Ar气压故意增加到 20 mTorr 或更高，这项研究表明，可以创建具有较小矫顽力分散的 Co-Cr 记录介质。本研究的结果表明，与通常的溅射法等使用原子的成膜方法相比，气体内蒸发是制造具有独立颗粒结构和均匀磁特性的磁记录介质的优选方法。由细颗粒形成薄膜的方法，例如由所示例的方法，是更有前途的，这表明了一种用于生产适合于超高密度记录的记录介质的新方法的可能性。