内殻励起に起因する表面分子脱離機構の研究

核激发引起的表面分子脱附机理研究

• 批准号: 05740211
• 负责人: 間瀬 一彦
• 金额: $ 0.64万
• 依托单位: Okazaki National Research Institutes
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1993
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1993 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-05740211/
• 关键词: 表面物性; 内殻励起; 反応動力学; 放射光; 光刺激脱離

内殻励起に起因する表面分子脱離機構の研究は、(1)基礎科学的な研究対象として重要であるにもかかわらず、これまで研究がほとんど進んでいない、(2)特定原子の内殻励起に起因する選択的表面化学反応の研究など、新しい基礎研究分野の開拓に貢献する、(3)表面エッチング、光表面ディポジションなどの応用研究への波及効果も大きい、などの点で将来性の大きい重要な研究分野である。本研究では、表面分子脱離機構を研究するために、軌道放射光を試料表面に照射して、放出電子をエネルギー選別して測定するとともに脱離したイオンを検出する手法(電子・イオン同時測定法)の開発を行なった。本装置は超高真空槽、試料作製装置、低速電子回折装置、励起光導入ポート、電子銃、円筒鏡面型電子エネルギー分析装置、飛行時間型イオン質量分析器から構成される。超高真空槽はターボ分子ポンプとゲッターポンプで排気し、到達真空度は1×10^<-10>Torrである。超高真空内で試料を作製したのち、励起光を照射し、表面放出電子のエネルギーを分析する。このとき同時に生成するイオンを飛行時間型質量分析器で検出して、表面吸着分子のどのような電子励起状態からどのような表面脱離イオンが生じるかについて詳細な実験を行なうことを計画している。励起光源としては、分子科学研究所の軌道放射光施設(UVSOR)を利用する予定である。現在、装置の部品が揃った段階であり、今後は、測定用エレクトロニクスを整備して、装置の動作テストおよび実験を行なう予定である。本科研費補助金の設備備品費と消耗品費は電源等の購入にあてた。また、旅費は本研究推進のための情報収集のための出張費として活用し、謝金は研究補助のためのアルバイト料として使用した。

内壳激发引起的表面分子解吸机理的研究主要存在两个问题：（1）虽然它是基础科学研究的重要课题，但迄今为止研究进展甚少；（2）（3）在这方面具有巨大的潜力； （3）对激发引起的选择性表面化学反应研究等新的基础研究领域的发展做出贡献，并且（3）对表面蚀刻和光学表面沉积等应用研究产生较大的连锁反应。研究领域。在本研究中，为了研究表面分子解吸的机理，我们开发了轨道同步加速器辐射照射样品表面，选择发射的电子的能量，测量它们，并检测解吸的离子（电子和离子同时测量）。法律）。该设备由超高真空室、样品制备装置、慢电子衍射装置、激发光引入口、电子枪、柱面镜电子能量分析仪、飞行时间离子质谱仪组成。超高真空室采用涡轮分子泵和吸气泵抽真空，极限真空度为1×10^<-10>Torr。在超高真空中制备样品后，用激发光照射样品并分析表面发射电子的能量。我们计划使用飞行时间质谱仪来检测此时同时产生的离子，并进行详细的实验来确定从表面的什么样的电子激发态产生什么样的表面解吸离子——吸附分子有。我们计划使用分子科学研究所的轨道同步辐射装置（UVSOR）作为激发光源。我们目前正处于组装设备零件的阶段，未来我们计划准备测量电子设备并在设备上进行操作测试和实验。科研补助金的设备和耗材费用用于购买电源等。此外，差旅费用于出差收集信息以促进本研究，酬金则用作兼职费以支持本研究。