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シリコン基板上の多層圧電ダイアフラム構造を用いた高分解能超音波イメージセンサ
硅衬底上采用多层压电隔膜结构的高分辨率超声波图像传感器
基本信息
- 批准号：04750375
- 负责人：
- 金额：$ 0.64万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- 财政年份：1992
- 资助国家：日本
- 起止时间：1992 至 无数据
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
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