酸化物超伝導薄膜の表面弾性波

氧化物超导薄膜中的表面声波

基本信息

批准号：
02640261
负责人：
秋永正廣
金额：
$ 1.02万
依托单位：
Fukuoka University of Education
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1990
资助国家：
日本
起止时间：
1990 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究実績の中味は次の2つの重要な仕事にわけることができる。1.弾性表面波用圧電薄膜の作製圧電薄膜をRFスパッタリング法を用いて作製しそのC軸配向性と作製条件との検討を行いスパッタガス圧力と基板温度の最適条件を求めた。これらの条件幅は非常にせまい。又この圧電膜にリソグラフィ法を用いてすだれ状電極を付け弾性表面波の発生、伝播及び受信を連続波法で試みた。基本周波数と電極間距離と波長の合理的な関係を反映した高調波も逐次検出した。それらの周波数対整数プロットから音速を求めたが予想に反して遅かった。2.圧電膜上の酸化物超伝導薄膜の作製この圧電薄膜上にBi(Pb)ーSrーCaーCuーO膜をRFスパッタリング法で蒸着しペレット同時熱処理によって主に2212相(Tc〜80K)を成長させた。基板となった圧電膜のC軸配向率が高い程ノ-マル状態での電気抵抗率が低くかつ残留抵抗比も大きかった。基板の圧電膜が単結晶でないためか成長した超伝導膜は粒状になっており粒界を仲介とする弱結合部が多数できておりこの膜の臨界電流の温度依存性はSNSタイプを示した。以上のように、圧電基板の作製とその基板上での超伝導膜の作製に成功した。圧電基板上の弾性表面波も発生・検出できた。今ポ-リング処理した圧電基板上の超伝導薄膜中を弾性表面波が伝播できるよう実験中である。

这项研究成就的内容可以分为两个重要任务：1。用于表面声波的压电薄膜的制备使用RF溅射制备了压电薄膜，并检查了C轴定向，并检查了制造条件，以确定用于溅射气体压力和底层温度的最佳条件。这些条件非常狭窄。此外，使用连续的波法方法将压电膜应用于线索上，以生成，传播和接收表面声波。还顺序检测到反映基本频率，电极距离和波长之间合理关系的谐波。我们计算出声音的频率与整数图的速度，这比预期的要慢。 2。在压电膜BI（PB）-SR-CA-CU-O膜上制备超导氧化物薄膜在这部压电膜上通过RF溅射沉积在这部压电膜上，并主要通过同时通过PELLET PELLET热处理生长。用作底物的压电膜的C轴取向比越高，在正常条件下的电阻率越低，残余电阻率越高。也许是因为底物上的压电膜不是单个晶体，因此生长的超导膜是颗粒状的，并且具有许多由晶界介导的弱键，并且该膜的临界电流的温度依赖性是SNS类型。如上所述，压电基板的制造和在底物上制造超导膜的制造成功。还产生并检测到压电底物上的表面声波。我们目前正在进行实验，以允许表面声波通过已进行轮询的压电底物上的超导薄膜传播。