酸化物超伝導薄膜の表面弾性波

氧化物超导薄膜中的表面声波

基本信息

批准号：
02640261
负责人：
秋永正廣
金额：
$ 1.02万
依托单位：
Fukuoka University of Education
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1990
资助国家：
日本
起止时间：
1990 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究実績の中味は次の2つの重要な仕事にわけることができる。1.弾性表面波用圧電薄膜の作製圧電薄膜をRFスパッタリング法を用いて作製しそのC軸配向性と作製条件との検討を行いスパッタガス圧力と基板温度の最適条件を求めた。これらの条件幅は非常にせまい。又この圧電膜にリソグラフィ法を用いてすだれ状電極を付け弾性表面波の発生、伝播及び受信を連続波法で試みた。基本周波数と電極間距離と波長の合理的な関係を反映した高調波も逐次検出した。それらの周波数対整数プロットから音速を求めたが予想に反して遅かった。2.圧電膜上の酸化物超伝導薄膜の作製この圧電薄膜上にBi(Pb)ーSrーCaーCuーO膜をRFスパッタリング法で蒸着しペレット同時熱処理によって主に2212相(Tc〜80K)を成長させた。基板となった圧電膜のC軸配向率が高い程ノ-マル状態での電気抵抗率が低くかつ残留抵抗比も大きかった。基板の圧電膜が単結晶でないためか成長した超伝導膜は粒状になっており粒界を仲介とする弱結合部が多数できておりこの膜の臨界電流の温度依存性はSNSタイプを示した。以上のように、圧電基板の作製とその基板上での超伝導膜の作製に成功した。圧電基板上の弾性表面波も発生・検出できた。今ポ-リング処理した圧電基板上の超伝導薄膜中を弾性表面波が伝播できるよう実験中である。

本研究的内容可分为以下两个重要任务。 1.表面声波压电薄膜的制备采用射频溅射法制备压电薄膜，并对其C轴取向和制备条件进行研究，以确定溅射气压和基板温度的最佳条件。这些条件的范围非常狭窄。此外，我们使用光刻将叉指电极附着到该压电薄膜上，并尝试使用连续波方法产生、传播和接收表面声波。还依次检测到反映基频、电极间距离和波长之间的合理关系的谐波。我根据这些频率与整数图计算了声速，但速度出乎意料地慢。 2. 压电薄膜上氧化物超导薄膜的制备通过射频溅射方法在该压电薄膜上沉积 Bi(Pb)-Sr-Ca-Cu-O 薄膜，同时对颗粒进行热处理，形成主要为 2212 相（ Tc ~ 80K) 增长。作为基材的压电薄膜的C轴取向比越高，电阻率越低，常态下的残余电阻率越高。也许是因为基底上的压电薄膜不是单晶，所以生长的超导薄膜是粒状的，具有许多由晶界介导的弱键，并且该薄膜的临界电流的温度依赖性表现出SNS类型。如上所述，我们成功地制造了压电基板和基板上的超导膜。压电基板上的表面声波也被产生和检测。我们目前正在进行一项实验，让表面声波在经过极化处理的压电基板上的超导薄膜中传播。