Spatially two-dimensional microphysical description of plasma in the anode region of a glow discharge

辉光放电阳极区等离子体的空间二维微观物理描述

• 批准号: 5155618
• 负责人: Dr. Dirk Uhrlandt
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Elektrische Energietechnik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1998-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5155618?language=en
• 关键词: Spatially; two; dimensional; microphysical; description

Die Eigenschaften von anisothermen Niederdruckplasmen, wie sie zunehmend in der Plasmaprozeßtechnik eingesetzt werden, sind maßgeblich durch die nichtlokale Kinetik der Elektronenkomponente bestimmt. Die adäquate Beschreibung der räumlichen Struktur solcher Plasmen erfordert eine kinetische Behandlung der Elektronen durch Lösung einer räumlich inhomogenen kinetischen Gleichung unter Berücksichtigung aller wirkenden Feldkomponenten. Bisher ist die numerische Lösung der entsprechenden inhomogenen elektronenkinetischen Gleichung nur für in einer Ortsrichtung inhomogene Situation möglich oder kann nur unter Annahme weitreichender Näherungen erfolgen. Ziel des Vorhabens ist die Entwicklung praktikabler Verfahren zur Beschreibung der räumlichen Struktur der Elektronenkinetik in mehr als einer Raumdimension. Ein in jüngster Zeit experimentell näher untersuchtes Beispiel eines räumlich stark strukturierten Niederdruckplasmas stellt das Anodengebiet der Gleichstrom-Glimmentladung im zylindrischen Rohr dar. An diesem Beispiel soll die inhomogene Elektronenkinetik erstmals durch numerische Lösung einer zweidimensional räumlich inhomogenen kinetischen Gleichung in Zwei-Term-Näherung detailliert untersucht werden. Nach erfolgreicher Entwicklung eines geeigneten Verfahrens zur Lösung der kinetischen Gleichung wird eine Gesamtbeschreibung des Plasmas angestrebt. Weiterhin soll das Verfahren auf die Analyse anderer Plasmasituationen mit ähnlicher Geometrie übertragen werden.

Die Eigenschaften von anothermen Niederdruckplasmen, wie sie zunehmend in der Plasmaprozeßtechnik eingesetzt werden, sind maßgeblich durch die nichtlokale Kinetik der Elektronenkomponente bestimmt.在运动过程中，电子设备的运动方式是不均匀的。 Ortsrichtung 不均匀的情况 möglich oder kann nur unter Annahme weitreichender Näherungen erfolgen。数字和二维数字中的电动运动初始值不均匀Räumlich 不均匀运动 Gleichung 在 Zwei-Term-Näherung 细节 untersucht werden。通过几何形状分析和等离子体状况。