Channel Structure Engineering using low-dimensional carbon nano- materials

使用低维碳纳米材料的通道结构工程

• 批准号: 18063011
• 负责人: HORI Masaru
• 金额: $ 111.74万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2009
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18063011/
• 关键词: 自己組織化; カーボンナノ構造体; グラフェンシート; 半導体物性; プラズマプロセス; カーボンナノウォール; 電気特性; チャネルエンジニアリング; ラジカル注入型プラズマCVD装置; 形状制御; 抵抗値; n型ドープ; ラジカル注入型プラズマCVD; 赤外吸収スペクトル測定; n型伝導カーボンナノウォール; 界面構造; 接触抵抗; トランスミッションライン法; ラピッドサーマルアニール; 単一架橋カーボンナノウォール; 電子ビーム励起プラズマ; ドーピング

Carbon nanowalls (CNWs), consisting of graphene sheets vertically-standing on substrates, are one of promising carbon nanomaterials. The future functional devices are expected to be realized using the CNWs, because of their unique morphologies and excellent electrical properties deriving from graphene structures. In this study, we have developed controlled synthesis techniques of CNWs realizing controls of their morphologies, growth orientations and electrical properties. Such the control techniques of CNWs growth are based on plasma nanoscience, including precise monitoring and independent control of reactive species, such as radicals and ions. Not only their composition ratios but also energies and fluxes of ions are essential factors of the CNWs growth.

碳纳米墙（CNW）由垂直放置在基底上的石墨烯片组成，是一种有前途的碳纳米材料。未来的功能器件预计将使用 CNW 来实现，因为它们具有独特的形态和源自石墨烯结构的优异电性能。在这项研究中，我们开发了 CNW 的受控合成技术，实现了对其形态、生长方向和电性能的控制。这种CNW生长的控制技术基于等离子体纳米科学，包括对自由基和离子等活性物质的精确监测和独立控制。不仅它们的组成比，离子的能量和通量也是 CNW 生长的重要因素。

项目成果

Monolithic self-sustaining nanographene sheet grown using plasma-enhanced chemical vapor deposition

• DOI: 10.1002/pssa.200925230
• 发表时间: 2010-01-01
• 期刊: PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLICATIONS AND MATERIALS SCIENCE
• 影响因子: 2
• 作者: Takeuchi, Wakana;Takeda, Keigo;Hori, Masaru
• 通讯作者: Hori, Masaru

Effect of Doped Carbon Nanowalls by Nitrogen Addition

添加氮对掺杂碳纳米墙的影响

• 发表时间: 2007
• 作者: 山本靖典;宮浦憲夫;竹内 和歌奈
• 通讯作者: 竹内 和歌奈

Transcriptio of Carbon Nanowall Pattern into SiO_2 Fim

碳纳米墙图案转录成SiO_2薄膜

• 发表时间: 2007
• 作者: M. Miyao;H. Kanno;K. Ueda and T. Sadoh;Akio Noda
• 通讯作者: Akio Noda

Fabrication of carbon nanomaterials synthesized by plasma enhanced chemical vapor deposition for solar cell applications

用于太阳能电池应用的等离子体增强化学气相沉积合成的碳纳米材料的制造

• 发表时间: 2010
• 作者: T.Kino;S.Kondo;W.Takeuchi;H.Kondo;K.Ishikawa;M.Sekine;M.Hori
• 通讯作者: M.Hori

In-situ observations of growth processes of carbon nanowalls using spectroscopic ellipsometry

使用光谱椭圆光度法原位观察碳纳米墙的生长过程

• 发表时间: 2010
• 作者: K.Yasuda;S.Kondo;K.Yamakawa;H.Kondo;M.Hiramatsu;M.Sekine;M.Hori
• 通讯作者: M.Hori