電子プローブによる光・電子デバイス材料および実装素子のナノ組織解析技術の進展

使用电子探针的光学/电子器件材料和安装元件的纳米结构分析技术的进展

基本信息

批准号：
15631005
负责人：
桑野範之
金额：
$ 2.18万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2003
资助国家：
日本
起止时间：
2003 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究課題では、透過型電子顕微鏡(TEM)、走査型電子顕微鏡(SEM)、マイクロカソード蛍光(μ-CL)などの構造解析評価技術の発展を目指した研究活動を行った.近年の光・電子デバイスの発展は目覚しく、微細化と高集積化が進んでいる.それに伴って,より高性能化を図るために組織制御・組織解析評価技術も一層の高度化が要求されている。透過型電子顕微鏡はその目的には極めて有力な手段であるが,試料作製や観察技術、解析法がやや難解であることが多くの実務技術者から敬遠される原因となっている.そこで、現在の最先端電子顕微鏡技術の実態を把握するだけではなく,デバイス結晶成長、デバイス開発の現場での要望を拾い上げ,それを電子顕微鏡技術研究者と電子顕微鏡メーカーの技術研究者に提示することにより,問題解決を図った.実際には、電顕技術研究者、デバイス開発技術研究者,結晶成長研究者、電顕メーカー技術研究者に分担者になっていただき,九州大学産学連携センターにおいて2回の研究会を開催した.まず、平成15年7月のスタートアップ会議において,それぞれの立場からの情報と要望を出していただき,平成16年1月の本会議で詳細に議論した.その結果,試料作製技術などに改善の必要があるものの、現在の技術を十分に駆使すればかなりの部分は解決できる見通しがあることが判明した.これは、これまで、電顕技術の供給側と利用側との間の情報交換が不十分であったことに由来する部分が多い.また、ハードとソフトの両面で実際の材料解析に改善を要する点が多く指摘できた.たとえば、化学組成分布のマッピングや結晶方位解析においても、データ解析ソフトを少し改良すれば特別の装置でなくてもある程度のデータが得られることがわかった.さらに、3次元表示、ホログラム解析技術の応用にも新しい指針を示すことができた。

在本研究主题中，我们进行了旨在开发结构分析和评估技术（例如传输电子显微镜（TEM），扫描电子显微镜（SEM）和显微心极荧光（μ-CL））的研究活动。近年来，随着微型化和整合的进展，光学和电子设备的开发是显着的。因此，为了实现更高的性能，需要进一步发展组织控制，组织分析和评估技术。传输电子显微镜是实现其目的的极其强大的工具，但是样本制备，观察技术和分析方法在某种程度上难以理解这一事实是许多实践工程师被回避的事实。因此，他们不仅能够掌握尖端电子显微镜技术的当前状态，而且还提出了对设备晶体生长和设备开发的请求，并将它们介绍给电子显微镜制造商的电子显微镜技术研究人员和技术研究人员，以解决该问题。实际上，他们分为九州大学行业学院合作中心的两次研究会议。首先，在2003年7月的创业会议上，他们能够解决这个问题。提交了信息和请求，并在2004年1月的全体会议上进行了详细的讨论。结果，发现尽管在样本准备技术中需要改进，但是可以通过充分利用当前技术来解决大量问题。这通常是由于电子显微镜技术的供应和用户方面之间的信息交换不足所致。此外，已经指出，在硬件和软件方面需要改进实际材料分析的改进。例如，发现在映射化学成分分布和晶体方向分析时，可以通过稍微改善数据分析软件来获得一定量的数据。此外，还为应用3D显示和全息图分析技术提供了新的指南。