電子プローブによる光・電子デバイス材料および実装素子のナノ組織解析技術の進展

使用电子探针的光学/电子器件材料和安装元件的纳米结构分析技术的进展

基本信息

批准号：
15631005
负责人：
桑野範之
金额：
$ 2.18万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2003
资助国家：
日本
起止时间：
2003 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究課題では、透過型電子顕微鏡(TEM)、走査型電子顕微鏡(SEM)、マイクロカソード蛍光(μ-CL)などの構造解析評価技術の発展を目指した研究活動を行った.近年の光・電子デバイスの発展は目覚しく、微細化と高集積化が進んでいる.それに伴って,より高性能化を図るために組織制御・組織解析評価技術も一層の高度化が要求されている。透過型電子顕微鏡はその目的には極めて有力な手段であるが,試料作製や観察技術、解析法がやや難解であることが多くの実務技術者から敬遠される原因となっている.そこで、現在の最先端電子顕微鏡技術の実態を把握するだけではなく,デバイス結晶成長、デバイス開発の現場での要望を拾い上げ,それを電子顕微鏡技術研究者と電子顕微鏡メーカーの技術研究者に提示することにより,問題解決を図った.実際には、電顕技術研究者、デバイス開発技術研究者,結晶成長研究者、電顕メーカー技術研究者に分担者になっていただき,九州大学産学連携センターにおいて2回の研究会を開催した.まず、平成15年7月のスタートアップ会議において,それぞれの立場からの情報と要望を出していただき,平成16年1月の本会議で詳細に議論した.その結果,試料作製技術などに改善の必要があるものの、現在の技術を十分に駆使すればかなりの部分は解決できる見通しがあることが判明した.これは、これまで、電顕技術の供給側と利用側との間の情報交換が不十分であったことに由来する部分が多い.また、ハードとソフトの両面で実際の材料解析に改善を要する点が多く指摘できた.たとえば、化学組成分布のマッピングや結晶方位解析においても、データ解析ソフトを少し改良すれば特別の装置でなくてもある程度のデータが得られることがわかった.さらに、3次元表示、ホログラム解析技術の応用にも新しい指針を示すことができた。

在该研究项目中，我们开展了旨在开发透射电子显微镜（TEM）、扫描电子显微镜（SEM）和微阴极荧光（μ-CL）等结构分析和评估技术的研究活动，电子器件的发展令人瞩目。随着小型化和更高集成度的进步。随之而来的是，需要更复杂的结构控制以及结构分析和评估技术，以实现更高的性能。透射电子显微镜是实现这一目的极其有效的手段，但许多实际工程师回避它，因为其样品制备、观察技术和分析方法除了掌握尖端电子显微镜技术的现状之外，还有些难以理解。我们还确定了器件晶体生长和器件开发领域的需求，并与电子显微镜技术研究人员分享。我们试图通过向显微镜制造商的技术研究人员提出这个问题来解决这个问题。实际上，参与者分为电子显微镜技术研究人员、器件开发技术研究人员、晶体生长研究人员和电子显微镜制造商技术研究人员。在九州大学产学合作中心进行学习会。首先，在2003年7月的创业大会上，我们他们提交了信息和要求，并在2004年1月的全体会议上进行了详细讨论。结果，虽然样品制备技术需要改进，但发现如果充分利用现有技术，相当一部分发现这个问题是有解决的前景的。这很大程度上是因为到目前为止，电子显微镜技术的供给方和用户方之间已经实现了信息交换。不足的。此外，我们还能够指出实际材料分析中需要改进的地方，无论是硬件还是软件。例如，在化学成分分布图和晶体取向分析方面，如果数据分析软件稍微改进一下，不需要使用特殊设备，此外，我们还能够为三维显示和全息图分析技术的应用提供新的指导。