Mechanics of deformation and fracture in metal/ceramic nano-laminated thin films

金属/陶瓷纳米层压薄膜的变形和断裂力学

• 批准号: 22860053
• 负责人: NAKATANI Masanori
• 金额: $ 1.96万
• 依托单位: University of Hyogo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-22860053/
• 关键词: 積層構造; 表面構造; 薄膜; 機械的特性; 自立化; 積層薄膜; 自立; アルミニウム; アルミナ; 変形; 破壊; 窒化アルミ

A fabrication method of free-standing metal/ceramic nano-laminate thin film and its tensile testing technique was developed, and the deformation and fracture behavior of free-standing metal/ceramic nano-laminate thin film was investigated. The fracture toughness of Cu/Al_2O_3 laminated film with 5 layers (thickness: 500nm, Cu: 120nm, Al_2O_3: 60nm) was lower than that of Cu film (thickness: 500nm). However, Cu layer with a thickness of only 120nm in laminated film still caused plastic deformation. Moreover, we proposed a novel technique for the fabrication of laminated film with surface nanostructure.

开发了自支撑金属/陶瓷纳米层压薄膜的制备方法及其拉伸测试技术，研究了自支撑金属/陶瓷纳米层压薄膜的变形和断裂行为。五层Cu/Al_2O_3叠层薄膜(厚度:500nm、Cu:120nm、Al_2O_3:60nm)的断裂韧性低于Cu薄膜(厚度:500nm)。然而，层压薄膜中厚度仅为120nm的Cu层仍然会引起塑性变形。此外，我们提出了一种制造具有表面纳米结构的层压薄膜的新技术。

项目成果

イオンビーム支援蒸着法により成膜したTiN薄膜の破壊挙動

离子束辅助沉积法沉积TiN薄膜的破坏行为

• 发表时间: 2011
• 作者: 中谷正憲;花木聡;内田仁
• 通讯作者: 内田仁

Mechanical property of nano-laminated TiN films with island-like morphology by ion beam assisted deposition

离子束辅助沉积岛状形貌纳米层压TiN薄膜的机械性能

• 发表时间: 2012
• 作者: Masanori Nakatani;Takuya Ohsawa;Satoshi Hanaki;Hitoshi Uchida
• 通讯作者: Hitoshi Uchida

イオンビーム支援硬質窒化物薄膜の作製と特性評価

离子束辅助硬质氮化物薄膜的制备与表征

• 发表时间: 2011
• 期刊: プラズマ応用科学
• 作者: 三好悠司;並木周;北山研一;内田仁,花木聡,中谷正憲
• 通讯作者: 内田仁,花木聡,中谷正憲

島状表面ナノ構造を有するTiN薄膜の創製と機械的特性

具有岛状表面纳米结构的TiN薄膜的制备和机械性能

• 发表时间: 2012
• 作者: 中谷正憲;大澤拓也;花木聡;内田仁
• 通讯作者: 内田仁

SiN/SiC積層薄膜の創製とその自己き裂治癒能力

SiN/SiC多层薄膜的制备及其自裂纹愈合能力

• 发表时间: 2012
• 作者: M. Nakatani;J. Nishimura;S. Hanaki;H. Uchida;西村淳樹,中谷正憲,花木聡,内田仁;西村淳樹，中谷正憲，花木聡，内田仁
• 通讯作者: 西村淳樹，中谷正憲，花木聡，内田仁