Crystallographical Control in Urtra-Precision Cutting

超精密切割中的晶体控制

• 批准号: 61460093
• 负责人: MORI Yuzo
• 金额: $ 4.1万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
• 财政年份: 1986
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1986 至 1987
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-61460093/
• 关键词: Ultra-Precision Cutting; Surface characterization; Photo-Reflectance Spectra; Lattice Defect; Local Density of States; 電子エネルギ状態; 局所状態密度

The aim of this project is to characterize wefal suifaes on the crystallographical stand point and wain target of this study is the surfaces which are finished by ultera precision machining (cutling), and snch characterization can bring usefcul informations for Cmtrolling the suitable cuhing conditions.In this study, phat wflectane spectra measurmcnt is emploged. Photo vflectance Spectra have the imformations of surafce erystallographical clafect dcnsities.Relationship betwecn photo reflectance spectra and surfae latlie cecfrct dcusity was. maale clear through the thoeretical calculations on Si Surfaces as a sample material. Measuring apparatus withe the resolution of 0.001% was dcrelopeb, and both sewiconductor and mctal surfaces having dcffeent defect dcneities anr mcasure From there results, surfae characterization utilizing photo retlectamce spectra is power asefal not only in semi conductor surfae, but afsaimetal surface and possibility of the application for evaluation of the wekra precision cuhing surfaces of trhis meatod was obtained.

该项目的目的是在晶体学立场上表征 Wefal Suifaes，本研究的目标是通过超精密加工（切割）精加工的表面，并且 snch 表征可以为控制合适的加工条件带来有用的信息。本研究采用了聚丙烷光谱测量。光反射光谱具有表面晶相密度的信息。光反射光谱与表面晶相密度的关系为。 maale通过对Si表面作为样品材料的理论计算清楚了。分辨率为 0.001% 的测量设备是 dcrelopeb，并且半导体和金属表面都具有不同的缺陷密度和 mcasure 由此结果，利用光反射光谱的表面表征不仅在半导体表面，而且在金属表面和可能性获得了评估 trhis 肉类的 wekra 精密加工表面的应用。

项目成果

Y. Mori: Proceeding of the 6th ICPE. 58-63 (1987)

Y. Mori：第六届 ICPE 论文集。

森勇藏,山内和人 他: 精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集.

Yuzo Mori、Kazuto Yamauchi 等：日本精密工程学会秋季会议论文集。

森勇藏: 昭和62年度精密工学会春季大会学術講演会講演文集発表予定. (1988)

Yuzo Mori：预定在日本精密工程学会 1985 年春季会议上发表演讲集（1988 年）。

森勇藏: 昭和62年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 243-244 (1987)

Yuzo Mori：1985 年日本精密工程学会秋季会议学术讲座论文集 243-244 (1987)。

Y.Mori: "Elastic Emission Machining" Precision Engineering. 9. 123-128 (1987)

Y.Mori：“弹性发射加工”精密工程。