表面張力を利用した真空内非接触流体軸受の開発

利用表面张力开发真空中非接触式流体轴承

基本信息

批准号：
19656044
负责人：
社本英二
金额：
$ 2.18万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2007
资助国家：
日本
起止时间：
2007 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

(1)新原理に基づく流体軸受面の設計と解析提案する新原理に基づいて、流体軸受面の設計・解析を行った。具体的には、流体の種類(表面張力)、軸受隙間、軸受面形状と寸法等を変数として、剛性と耐荷重の値を推測する式を導出した。(2)静止時の基本特性の評価まず、予備実験用にすでに開発した3点支持軸受面を利用して基本特性を測定する装置開発を行った。軸受面に垂直な方向に荷重を加える電磁アクチュエータ、その荷重を測定する力センサ、およびその微小変位を測定するセンサを組み合わせ、静的な特性である軸受剛性と耐荷重を評価する装置を開発し、実際の測定を行った。その結果および上記の解析結果より、本原理による軸受は極めて高い剛性を有すること、耐荷重は比較的低いこと等が明らかになった。(3)運動時の基本特性の評価予備実験用にすでに開発した1軸スライダーを利用し、運動時の抵抗特性と精度を評価する装置を開発し、実際の測定を行った。その結果、運動の再現性が良いこと、流体のせん断力に比べて大きな運動抵抗を持つこと等の運動特性が明らかになった。(4)対向型軸受の試作開発実用的には、片方向のみに高い耐荷重を持つ重力バランス型ではなく、いずれの方向にも高い耐荷重を持つ対向型の軸受が望まれる。そこで、水平、垂直方向ともに対向型の軸受面を持つプロトタイプの試作を行った。(5)本軸受機構の総合的評価上記の各種評価結果を踏まえ、本軸受機構の総合的評価・検討を行った。

(1)基于新原理的流体轴承表面的设计和分析我们基于所提出的新原理对流体轴承表面进行了设计和分析。具体来说，我们导出了使用流体类型（表面张力）、轴承间隙以及轴承表面形状和尺寸等变量来估计刚性和负载能力值的公式。 (2)静止时基本特性的评估首先，我们开发了一种使用已经为初步实验开发的三点支撑轴承表面来测量基本特性的装置。我们开发了一种装置，通过组合在垂直于轴承表面的方向上施加载荷的电磁致动器、测量该载荷的力传感器和测量其微小位移的传感器来评估轴承刚性和载荷能力的静态特性。，进行了实际测量。结果和上述分析结果表明，基于该原理的轴承具有极高的刚性，但承载能力相对较低。 (3)运动时基本特性的评估利用已经开发用于初步实验的单轴滑块，我们开发了一种评估运动时阻力特性和准确性的装置，并进行了实际测量。结果，揭示了运动特性，包括良好的运动再现性和与流体剪切力相比较大的运动阻力。 (4) 对置型轴承的原型开发出于实用目的，需要在两个方向上具有高负载能力的对置型轴承，而不是仅在一个方向上具有高负载能力的重力平衡型轴承。因此，我们创建了一个承载表面水平和垂直的原型。 (5)对该轴承机构的综合评价根据上述各项评价结果，我们对该轴承机构进行了综合评价和研究。

项目成果

期刊论文数量（4）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

これからのものづくりを支える超精密技術

支持未来制造的超精密技术

DOI：
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
0
作者：
Rei Hino;Norikazu Suzuki and Eiji Shamoto;社本英二
通讯作者：
社本英二

A New Method to Control Work-in-Process Inventory for High Manufacturing Productivity

控制在制品库存以提高制造生产率的新方法

DOI：
发表时间：
2008
期刊：
Proc. of the 41st CIRP International Conference on Manufacturing Systems (掲載決定)
影响因子：
0
作者：
Rei Hino;Norikazu Suzuki and Eiji Shamoto
通讯作者：
Norikazu Suzuki and Eiji Shamoto

超精密・マイクロ機械加工技術とその展開

超精密/微加工技术及其发展