3次元フォトリソグラフィによる追加工と光システムの集積化

使用 3D 光刻进行附加处理和光学系统集成

基本信息

批准号：
12750287
负责人：
佐々木実
金额：
$ 1.09万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
2000
资助国家：
日本
起止时间：
2000 至 2001
项目状态：
已结题

项目摘要

1.先球ファイバ:本研究で開発している技術を利用して先球ファイバが製作できることを昨年度報告した。更に研究を続けた。先球ファイバは光ネットワークを構築する上で大量に需要が見こまれる光部品である。市販品もいくつかの会社から出ている。それらは、いずれもリソグラフィ技術以外の方法で製作されているので、本研究で製作する先球ファイバは形状等が若干異なる。市販品に形状を模擬した先球ファイバを製作し、その特性を測定したところ先球ファイバとしての機能をもつことを確認した。ビーム広がり角は市販品が6.4°に対し製作したものは5.4°を示した。この値が大きいほど半導体レーザと光ファイバ間の結合効率を高めるため、若干性能が劣っていることになる。このことは予測でき、製作した先球ファイバは最適値を求めた訳ではないため、今後の改良で良くしていくことは十分可能である。以上の結果を論文にまとめたところ、Japanese Journal of Applied Physicsに掲載決定した。2.可変減衰器:光ファイバ側面にマイクロヒータを周期100μmオーダのグレーティング状に製作したデバイスを考案した。実際に製作したところ光ファイバ中に周期的な温度分布を形成することができ、減衰量可変の特性を得ることができた。実現できた減衰量は2dB程度と少なかったため、減衰量を改善するため温度分布の得易い立体的なマイクロヒータを製作した。研磨した光ファイバ上に立体的なマイクロヒータを製作した。デバイスは実現できたものの、光学特性を確認するには至らなかった。これは光ファイバの接続が難しくなってしまったためである。3.フィルタ:研磨した光ファイバとサーフェスマイクロマシニングを組み合わせたフィルタを製作した。波長依存性が少なく1dB程度の可変減衰量を確認した。実用レベルに至っていないが、更なる改良は可能である。

1.先驱纤维：我们去年报告说，使用本研究中开发的技术可以生产第一年纤维。我继续研究。第一球纤维是对构建光网络的需求巨大的光学部分。商业产品也可从多家公司获得。由于它们都是通过裂解技术以外的其他方法制造的，因此本研究中产生的第一球纤维的形状略有不同。商业产品制造了商业产品，并测量了特征。光束蔓延角表示，商业产品生产的束范围为6.4°。值越大，略高于半导体激光器和光纤之间的组合效率。可以预测这一点，并且可以通过未来的改进进行改进，因为生产的第一球纤维并不需要最佳价值。在总结了上述结果之后，它发表在《日本应用物理学杂志》上。 2。可变型脱生物：设备是在光纤的侧面设计的，以100μm的100μm周期的光栅形式设计。实际产生时，可以在光纤中形成周期性的温度分布，并获得可变衰减的特征。由于达到的衰减量小至2 dB，因此产生了三维微紫po型以改善衰减量。在抛光的光纤上产生了三维微神经。尽管实现了该设备，但不可能确认光学特性。这是因为光纤的连接变得困难。 3。滤波器：结合抛光光纤和表面微层的过滤器。波长依赖性较低，并且确认了约1 dB的可变衰减。尽管尚未达到实际水平，但仍有进一步的改进。