Automated prediction system of Hamaker constants based on molecular theory and simulations associated with data science

基于分子理论和数据科学模拟的哈梅克常数自动预测系统

基本信息

  • 批准号:
    19K05029
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.91万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2019
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2019-04-01 至 2024-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

半導体製造の液相プロセスでは、最終的な成膜品質を支配する重要な因子として、基盤上での前駆体溶液の濡れ性が問題となる。濡れ性は、溶媒のハマカー定数を指標として制御されるが、溶媒選択を行うためのハマカー定数のデータベースは構築されていない。そのため、濡れ性制御に関する液体プロセス設計は、実務担当者のこれまでの知見と経験に限られた範囲での溶媒選択にならざるを得ず、必ずしも最適な溶媒選択とはなっていない。本研究は、ハマカー定数のハイスループット算定を実現するための予測モデルを構築して、実験に依らない溶媒スクリーニング技術を開発することを目的とする。これまでの研究成果として、分子記述子とハマカー定数の直接的な回帰モデルの場合、物性予測プロセスのブラックボックス化に由来する解釈困難性に起因して、モデル改善が困難であることが明らかになった。本研究では、この困難性を克服するために、分子理論に基づき、ハマカー定数を構成する種々の光学パラメータの機械学習モデルに還元し、それらを統合することで、直接予測モデルの性能を改善できた。今年度は、決定木分類に基づき、予測性能の向上を妨げるパラメータの同定と、当該光学パラメータで予測精度の悪い結果を与える分子群を同定できたため、なぜ当該パラメータで予測性能を改善できないのか?を明らかにすることができた。現在、これらの知見をまとめ、原著論文の執筆準備を進めている。
在半导体制造的液相过程中,底物上的前体溶液的润湿性成为一个研究最终膜沉积质量的重要因素。使用溶剂的Hamaker常数来控制润湿性,但尚未构建用于溶剂选择的Hamaker常数数据库。因此,用于润湿性控制的液体过程设计被迫在实用人员的知识和经验范围内选择溶剂,不一定是最佳溶剂选择。这项研究旨在通过构建预测模型来实现Hamaker常数的高通量计算来开发实验独立的溶剂筛选技术。先前的研究结果表明,由于物理财产预测过程的黑拳击引起的解释难以解释,因此很难改善分子描述符和Hamaker常数的直接回归模型。在这项研究中,为了基于分子理论克服这一困难,我们将Hamaker常数的各种光学参数减少到机器学习模型,并将其集成以提高直接预测模型的性能。今年,基于决策树的分类,我们能够确定参数,从而阻碍了预测性能的改善,并确定了使用光学参数提供较差预测准确性结果的分子组,那么为什么不能使用参数改善预测性能?能够澄清。目前,我们正在编译这些发现,并准备编写原始论文。

项目成果

期刊论文数量(63)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Exploring Heat-Shielding Nanoparticle-Based Materials via First-Principles Calculations and Transfer Learning
  • DOI:
    10.1021/acsanm.0c03298
  • 发表时间:
    2021-02
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Tomohiro Yoshida;R. Maezono;K. Hongo
  • 通讯作者:
    Tomohiro Yoshida;R. Maezono;K. Hongo
オークリッジ国立研究所/アルゴンヌ国立研究所(米国)
橡树岭国家实验室/阿贡国家实验室(美国)
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
データ駆動型アプローチに基づく物質探索とキャラクタリゼーション
基于数据驱动方法的材料探索和表征
  • DOI:
  • 发表时间:
    2023
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Lijun Wang;Zhengxu Li;Shingo Ohira;Takaomi Itoi;Hiroyuki Yoshida;and Yun Lu;松永啓吾,森園靖浩,山室賢輝,連川貞弘;本郷研太
  • 通讯作者:
    本郷研太
Ab initio materials informatics approach to materials design and characterization
材料设计和表征的从头算材料信息学方法
  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    黄嘉一;蒋毅男;LIU SHIQI;吉田浩之;魯 云;本郷研太
  • 通讯作者:
    本郷研太
二次電池の材料に関する最新技術開発開【NO.2163】
二次电池材料相关最新技术开发[NO.2163]
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Kashiwase Sakiko;Unekawa Mariko;Hisazawa Hiromu;Terada Yoshihiro;Kenta Hongo;柏瀬早季子,畝川真梨子,久澤大夢,寺田芳弘;Kenta Hongo;柏瀬早季子,畝川真梨子,久澤大夢,寺田芳弘;Yoshihiro Terada;本郷研太 他
  • 通讯作者:
    本郷研太 他
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

本郷 研太其他文献

物性データ生成エンジンとしての第一原理計算
第一性原理计算作为物性数据生成引擎
  • DOI:
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    本郷 研太
  • 通讯作者:
    本郷 研太
第一原理計算とベイズ統計を融合したデータ駆動型物質探索
数据驱动的材料探索,结合第一原理计算和贝叶斯统计
  • DOI:
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    本郷 研太
  • 通讯作者:
    本郷 研太
第一原理計算屋のマテリアルズ・インフォマティクス研究
第一性原理计算器的材料信息学研究
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Okamoto Yuko;Kitada Ryo;Tanabe Hiroki C.;Sasaki Akihiro T.;Kochiyama Takanori;Yahata Noriaki;Sadato Norihiro;本郷 研太;岡本悠子;本郷研太
  • 通讯作者:
    本郷研太
マテリアルズ・インフォマティクス開発事例最前線 第3編第4節 (伊藤聡・監修)
前线材料信息学开发案例第三部分第四节(伊藤聪指导)
  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    本郷 研太;室野 隆博;前園 涼
  • 通讯作者:
    前園 涼
子どもの発達と自閉スペクトラム症の心理・脳科学研究
儿童发展和自闭症谱系障碍的心理和脑科学研究
  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Okamoto Yuko;Kitada Ryo;Tanabe Hiroki C.;Sasaki Akihiro T.;Kochiyama Takanori;Yahata Noriaki;Sadato Norihiro;本郷 研太;岡本悠子
  • 通讯作者:
    岡本悠子

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{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

相似海外基金

Computational approaches to microscopic control of wettability in liquid processes for fabricating semiconductors
半导体制造液体工艺中润湿性微观控制的计算方法
  • 批准号:
    15K21023
  • 财政年份:
    2015
  • 资助金额:
    $ 2.91万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

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