超伝導体テラヘルツ電磁波発振デバイスにおける自己発熱効果に関する研究

超导太赫兹电磁波振荡装置自热效应研究

• 批准号: 21K04143
• 负责人: 及川 大
• 金额: $ 2.58万
• 依托单位: National Institute of Technology, Toyota College
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2021
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2021-04-01 至 2025-03-31
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-21K04143/
• 关键词: 高温超伝導体; テラヘルツ電磁波; 微細加工; 超伝導体; 自己発熱効果; ジョセフソン接合

本研究は高温超伝導体結晶構造中に内包されるジョセフソン接合のデバイス機能を用いた，テラヘルツ電磁波発振器の高出力化を目的としている。特に，高出力化の弊害となるジョセフソン接合における動作時の自己発熱効果の低減に主眼を置いている。前年度に発熱効果の低減化を数値解析的に調査した。今年度は実験的研究を行う予定であった。そのためにはまず，超伝導結晶をミクロンサイズに微細加工する必要がある。その微細加工技術において重要なフォトリソグラフィやアルゴンイオンミリング(プラズマエッチング)の最適化，設計および構築を行なった。フォトリゾグラフィは現像技術を用いて微細パターンの描画を行うものである。まず，光源を駆動する回路の作製を行なった。また実体顕微鏡及び3次元可動ステージを用いてマスクアライナを自作し，感光剤(レジスト)や現像液の質，量や反応時間を最適化し，超伝導体結晶に望まれる微細パターンを作製することに成功した。一方，超伝導結晶を微細に切削するプラズマエッチング装置についての，高真空度の達成や，アルゴンガスの導入機構の構築を行なった。また貸与した高周波電源においてプラズマの点火や切削可能であることを確認した。上記と並行して，数値解析による研究も遂行した。超伝導結晶の厚さを薄くすることで更なる，発熱の低減が可能なことを示した。さらに発熱だけでなく，実際に放射される電磁波の周波数や強度を超伝導結晶内部を等価回路に置き換えることによって評価した。研究分担者とともに超伝導単結晶の作製を行い，原材料の融点を低下させるフラックス剤を通常より過剰に添加し焼結することによって，結晶性の高い単結晶を得ることに成功した。

这项研究旨在使用在高温超导体晶体结构中包含的约瑟夫森连接器的装置功能来增加Terahertz电磁振荡器的功率输出。特别是，重点是减少约瑟夫森连接操作过程中的自加热效果，这是高产量的缺点。上一年，我们从数值上研究了热产生效应的降低。我们计划今年进行实验研究。为此，首先有必要将超导晶体切成微米的大小。该公司已经优化，设计和构建的光刻和氩离子铣削（等离子体蚀刻），在这种微加工技术中很重要。光片摄影使用开发技术来绘制精细的模式。首先，制造了用于驱动光源的电路。此外，我们使用立体显微镜和3D可移动阶段制作了自己的面具对准器，并优化了光敏剂（抵抗）和开发人员的质量，数量和反应时间，并成功地创建了为超导晶体所需的精细模式。另一方面，精细切割超导晶体的等离子蚀刻装置已达到高真空，并且已经构建了氩气引入机理。还可以确定可以点燃和剪裁的高频电源。与上述同行，还进行了数值分析研究。已经表明，通过减小超导晶体的厚度可以进一步减少热量产生。此外，不仅热量产生，而且还通过用等效电路代替超导晶体的内部来评估实际发射的电磁波的频率和强度。通过与研究人员创建超导一体的单晶，我们通过添加过量的通常的通量剂来成功获得具有高结晶度的单晶，从而降低了原材料的熔点并烧结。

项目成果

及川大，都築啓太，熊谷勇喜，安藤浩哉，杉浦藤虎，塚本武彦

及川大、都筑启太、熊谷由纪、安藤博也、杉浦藤虎、冢本武彦

• 发表时间: 2022
• 作者: 諸星 美咲;金 敬鎬;阿部 良夫;固有接合内部のc軸方向における温度分布の数値解析
• 通讯作者: 固有接合内部のc軸方向における温度分布の数値解析

BSCCO Terahertz Oscillators Controlled With Additional Heaters

• DOI: 10.1109/tasc.2023.3334198
• 发表时间: 2024
• 期刊: IEEE Transactions on Applied Superconductivity
• 影响因子: 1.8
• 作者: D. Oikawa;Eric Dorsch;Stefan Guénon;D. Koelle;R. Kleiner

Synchronization of intrinsic Josephson junctions in terahertz electromagnetic wave oscillators with non-uniform temperature distributions

非均匀温度分布太赫兹电磁波振荡器中本征约瑟夫森结的同步

• 发表时间: 2021
• 作者: Dai Oikawa ;Keita Tsuzuki;Yuki Kumagai;Haruki Mitarai;Hiroya Andoh;Toko Sugiura;and Takehiko Tsukamoto
• 通讯作者: and Takehiko Tsukamoto

Enhancement of magnetic flux distribution using roundly stacked‐HTS tape

使用圆形堆叠高温超导带增强磁通量分布

• 发表时间: 2021
• 作者: Keita Tsuzuki;Norihito Kambe;Dai Oikawa;Hiroya Andoh;Takehiko Tsukamoto
• 通讯作者: Takehiko Tsukamoto

Improvement of Non-Uniform Temperature Distributions in Intrinsic Josephson Junction Stacks

• DOI: 10.1109/tasc.2021.3055448
• 发表时间: 2021-08
• 期刊: IEEE Transactions on Applied Superconductivity
• 影响因子: 1.8
• 作者: D. Oikawa;K. Tsuzuki;Y. Kumagai;Haruki Mitarai;H. Andoh;T. Sugiura;T. Tsukamoto