Resonante Multiphotonen-Absorption und Ablation organischer Monolagen für Anwendungen in chemischen Sensoren und als unltradünne Resists

有机单层的共振多光子吸收和烧蚀，用于化学传感器和超薄抗蚀剂

• 批准号: 211798128
• 负责人: Professor Dr. Nils Hartmann
• 金额: --
• 依托单位: CENIDE - Center for Nanointegration
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2012
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2011-12-31 至 2017-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/211798128?language=en
• 关键词: Resonante; Multiphotonen; Absorption; und; Ablation

Organische Monolagen werden zunehmend in Biosensoren als chemische Template zur geordneten Anbindung von anderen Komponenten (Nanopartikel, Proteine, etc.) und als Resists in lithographischen Anwendungen eingesetzt. Für viele dieser Anwendungen ist eine flexible, großflächige, lateral hochaufgelöste und selektive Strukturierung der Schichten gefordert, was alternative Ansätze nur bedingt liefern können. Ziel des Vorhabens ist daher die Untersuchung der Strukturierungsmöglichkeiten organischer Monolagen mit ultrakurzen Laserpulsen. Neu an dem hier beschriebenen Ansatz ist die grundlegende Erforschung des Wellenlängen-Einflusses bei ultrakurzen Laserpulsen mit Hilfe neuer optischparametrischer Verstärker. Diese Option lässt eine exakte Abstimmung der Wellenlänge bzw. der Photonenenergie auch bei nichtlinearen Prozessen auf die Eigenschaften der Schicht und des Substrats, z.B. die Bandlücke zu. Bei gezielter Einstellung der Parameter kann so die direkte oder indirekte d.h. über das Substrat mediierte, Anregung der Materialien ohne parasitäre Wärmediffusion geschehen, was eine Strukturierung deutlich unterhalb von 100 nm ermöglicht. Die Untersuchungen werden auch helfen, die zugrunde liegenden Mechanismen aufzuklären. Zur Charakterisierung der Topographie, Morphologie, chemischen Zusammensetzung und tatsächlichen Funktion der Strukturen werden verschiedene, komplementäre mikroskopische Verfahren eingesetzt, ergänzt durch integrale Untersuchungsverfahren.

抗拒平版印刷 Anwendungen eingesetzt。 Strukturierung der Schichten gefordert 是替代的 Ansätze nur bedingt liefern können。光子能量在非线性过程中的本质特征和设计Substrats，z.B. die Bandlücke zu。 ermöglicht。 eingesetzt，ergänzt durch integrale Untersuchungsverfahren。